李研究等离子体设备,如等离子体相关过程损伤栅极氧化层后,人机交互性能明显恶化,这是因为等离子体过程中等离子体技术的设备,电网将流经氧气中一定量的电流,充电电流会导致新的氧化物陷阱和界面状态,当热载子喷射时,划格法测附着力仪器氧化层更容易损坏。。关闭电源时,划格法测附着力仪器先关闭电源,再关闭电源。为